Patrick EVRARD
Directeur R&D, SOPRALAB S.A.S.
Ayant reçu une formation de physicien de base, je me suis orienté très tôt, par goût personnel, vers l'optique et ses applications. J'ai été depuis 32 ans, et suis encore responsable de projets relatifs au développement de nouveaux instruments pour la métrologie optique non destructive.
Mes compétences se rapportent donc aux calculs et à la modélisation en optique et physique des matériaux, mais aussi au calcul de structures mécaniques. Mes outils sont Excel, MathCad... pour les calculs de base, Apilux pour le "ray-tracing", AutoCad, Mechanical Desktop, Inventor pour les dessins mécaniques et Comsol pour l'analyse des contraintes. Afin d'évaluer, de valider et/ou de présenter les fonctionnalités des instruments en développement, je crée mes propres interfaces informatiques (IHM), actuellement sous environnement .Net du Visual Studio 2005 /2008 de Microsoft, associé aux fonctionnalités de la bibliothèque du "Measurement Studio" de National Instruments (proche de l'environnement LabView).
Pour mener à bien mes missions, je suis entouré d'équipes assez souvent restreintes (4 à 12 personnes) composées de techniciens et d'ingénieurs très efficaces dans leur domaine de compétence.
Depuis octobre 2008 à SOPRALAB, je m'occupe plus particulièrement de l'évolution des ellipso-porosimètres de la société, instruments dédiés à la métrologie des matériaux poreux mis en œuvre dans l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque.
53 contacts2008 - 20081976-1978 Coopération technique au Maroc en tant qu'enseignant en physique
1978-1979 Responsable du département laser CO2 de moyenne puissance de Lectra Systèmes
1979-2008 Chef de projet à SOPRA S.A. en charge du développement d'instruments de métrologie optique, dont
- conception d'un analyseur chimique par spectrométrie d'émission atomique à haute résolution avec mise en oeuvre de torche à plasma RF en tant que source (technique ICP-AES)
- conception d'un instrument d'analyse isotopique de l'azote gazeux par méthode optique
- amélioration du design et conception de nouveaux spectromètres - spectrographes à haute résolution et focale supérieure à 1 mètre
- conception d'un spectromètre double à grande focale (2 mètres) fonctionnant en multipassage et dédié à la spectrométrie Raman et Brillouin
- conception d'un goniomètre angle variable destiné à la photométrie et à l'ellipsométrie dans le domaine UV-Visible, combiné à un réflectomètre à rayons X fonctionnant en rasance (Grazing XR) et à un réflectomètre à transformée de Fourier Infra-rouge (FTIR) pour l'analyse combinée des échantillons multi-couches de l'industrie des semi-conducteurs
- participation à la conception d'un réflectomtre Extrême UV (EUV) pour la métrologie des masques de la lithographie à 13,5 nm
- mise en boite à gants d'ellipsomètre à angle variable avec option ellipsomètre UV étendue jusqu'à 130 nm (pour litho. à 157 nm) et réflectomètre GXR avec manipulation de wafers de silicium Ø200 /300 mm par robot et préaligneur
- conception d'ellipsomètres spéciaux "in-situ" pour mesure sur les machines de dépot et "roll to roll" pour l'industrie métallurgique.
2008- responsable R&D de la nouvelle entité SOPRALAB (filiale de SEMILAB)...