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Frédéric BOUCARD

GIÈRES

En résumé

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Compétences
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Domaines d’expertise

Ingénierie du dopage :
Implantation ionique
Recuits thermiques (RTA, Furnace annealing)
Diffusion des dopants dans les semi-conducteurs
Défauts ponctuels et étendus dans les semi-conducteurs
Techniques de caractérisations (SIMS, Mesures Rcarré, TEM, RBS)

Simulation TCAD : Maîtrise des outils de simulation Athena, Atlas (Silvaco), Promis (TU-Vienna)


Informatique Langages de programmation : Fortran, C, C++
Outils de développement : CVS, SunWorkshop
Maîtrise des réseaux TCP/IP


Langues Anglais courant (TOEIC 805/1000)
Allemand Notions

Divers Méthodologie de calibrage (Plan d’expérience, Outils statistique).

Certificat " Personne compétente en matière de radioprotection " délivré par l’Institut de Recherche Subatomiques de Strasbourg.



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Expériences Professionnelles
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2003-2005 Ingénieur R&D process TCAD
SILVACO FRANCE, Grenoble

• Développement complet du modèle PLS (Phase-Leti-Silvaco) de diffusion des dopants dans l’outil commercial de simulation de procédés de fabrication SILVACO ATHENA
• Collaboration avec l’équipe de développeurs TCAD aux Etats-Unis
• Etudes et recherches de solutions avancées pour le dopage en microélectronique :

- Etude de l’effet d’un prérecuit et de la rampe de température montante
- Influence du fluor et du carbone sur la diffusion des dopants
- Effet d’une préamorphisation et recristallisation en phase solide (SPE)
- Simulation et modélisation d’ingénierie des défauts
- Modélisation analytique de l’implantation

• Communications internes et externes. Rédaction de documents techniques


1999-2003 Ingénieur de recherche, Thèse CIFRE
LETI, CNRS-PHASE, SILVACO, Grenoble – Strasbourg – Santa-Clara (USA)

• Recherches axées sur la modélisation de la diffusion et de l’activation des dopants dans le silicium au cours d’un traitement thermique
• Etudes expérimentales de l’effet d’une rampe de température et d’un prérecuit sur un traitement thermique rapide (Furnace annealing et RTP en salle blanche)


1997-1998 Administrateur réseau
Service militaire - Lycée Technique F. Renaudeau, Cholet (Maine et Loire)

• Responsable de l'Espace Multimédia et mise en place d'un réseau intranet complet sur 25 postes

Mes compétences :
Implantation
Microélectronique
Process
Traitement thermique

Entreprises

  • Silvaco data systems - Ingénieur R&D process TCAD

    maintenant Développement complet du modèle PLS de diffusion des dopants dans l’outil commercial de simulation de procédés de fabrication Silvaco Athena.

    Collaboration étroite avec une équipe de 4 développeurs aux Etats-Unis.

    Mise en place et gestion de solutions innovantes pour les outils de simulation

    Modélisation de la diffusion des dopants dans le silicium
    Etude de l’effet d’un prérecuit et de la rampe de température montante.
    Influence du fluor et du carbone sur la diffusion des dopants
    Effet d’une préamorphisation et recristallisation en phase solide
    Simulation et modélisation d’ingénierie des défauts
    Modélisation analytique de l’implantation
  • STMicrolectronics, Fab 300mn Crolles 2 - Ingenieur device

    2006 - maintenant Ingénieur Front-end Intégration

    Prise en charge des module FEOL Isolation, Oxide de grille et Contact pour la technologie 90nm (Plan de Qualification, Suivi de lots, Analyses PT/Rendement)..

    Suivi quotidien de process en ligne, amélioration d’indicateur Cp / Cpk

    Reporting hebdomadaire des résultats, prévisions, points bloquants
  • Silvaco Data Systems - Ingénieur Recherche et développement

    2003 - 2005

Formations

Réseau

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